Teflonbeschichteter Keramik-Endeffektor – Antihaftoberfläche für die empfindliche Wafer-Handhabung
Der Teflon (PTFE)-beschichtete Keramik-Endeffektor von St.Cera kombiniert ein hochfestes Aluminiumoxid-Substrat mit einer gleichmäßigen, reibungsarmen PTFE-Beschichtung (Dicke 15–30 µm). Die Beschichtung bietet einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten (≤ 0,1), ausgezeichnete chemische Beständigkeit und Antihaft-Eigenschaften, wodurch das Anhaften von Wafern verhindert und Verunreinigungen auf der Rückseite vermieden werden. Das darunterliegende Keramiksubstrat (99,8 % Al₂O₃) zeichnet sich durch hohe Biegefestigkeit (361–1000 MPa), Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 260 °C (Beschichtungsgrenze) aus. Dieser Endeffektor ist ideal für die Handhabung empfindlicher, dünner oder klebriger Wafer (z. B. nach Fotolackbeschichtung oder chemischen Prozessen).
Spezifikationen (basierend auf einem 99,8%igen Al₂O₃-Substrat mit PTFE-Beschichtung):
| Eigentum | Wert |
| Substratmaterial | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Beschichtungsmaterial | PTFE (Teflon) |
| Beschichtungsdicke | 15–30 μm |
| Reibungskoeffizient (beschichtet) | ≤0,1 |
| Biegefestigkeit des Substrats (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substrathärte (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substratdichte | 3,93 g/cm³ |
| Maximale Betriebstemperatur (Beschichtungsgrenze) | 260 °C |
| Oberflächenrauheit (vor der Beschichtung) | Ra ≤0,4 μm |
| Durchschlagsfestigkeit (Substrat) | 15×10⁶ V/m |
Hinweis: Die PTFE-Beschichtung begrenzt die maximale Temperatur auf 260°C; für Anwendungen bei höheren Temperaturen sollten unbeschichtete Keramik oder andere Beschichtungen in Betracht gezogen werden.
Anwendungsbereiche:
- • Handhabung von Wafern nach der Fotolackbeschichtung (klebrige Oberflächen)
- • Übertragung dünner oder zerbrechlicher Plättchen (verhindert Verkleben)
- • Halbleiterinspektions- und Messtechnik
- • Reinraumautomatisierung, bei der die Partikelkontamination minimiert werden muss
Herstellungsprozess:
Keramisches Substrat gesintert und präzisionsgeschliffen → Oberflächenaufrauung (Plasmaätzen oder Sandstrahlen) → PTFE-Sprühbeschichtung → Wärmehärtung bei 380 °C → Endkontrolle. Jeder Endeffektor wird auf Beschichtungsdicke (Wirbelstromprüfung), Haftung (Gitterschnittprüfung nach ASTM D3359) und Reibungskoeffizient geprüft.
Qualitätskontrolle:
100%ige Sichtprüfung auf Poren oder Blasen; Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke innerhalb von ±5 μm; keine Delamination nach 90°-Biegeversuch am Prüfmuster. Maßprüfung gemäß OEM-Toleranz (Länge ±0,05 mm, Ebenheit ≤0,1 mm).
Vorteile gegenüber unbeschichteten oder anderen Beschichtungen:
- • Die Antihaftoberfläche verhindert das Anhaften und Brechen der Wafer
- • Niedrigster Reibungskoeffizient aller Keramikbeschichtungen
- • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit (Säuren, Basen, Lösungsmittel)
- • Reduziert die Partikelbildung durch Verhinderung des Materialtransfers
Einschränkungen (Anmerkungen zu wesentlichen Abweichungen):
Die PTFE-Beschichtung basiert nicht auf den bereitgestellten Materialeigenschaftentabellen (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Die Substrateigenschaften entsprechen exakt dem mitgelieferten Datenblatt (99,8 % Al₂O₃). Die Beschichtungseigenschaften basieren auf branchenüblichen PTFE-Spezifikationen, da keine Beschichtungsdaten vorlagen. Für Anwendungen über 260 °C wird ein unbeschichteter Keramik-Endeffektor empfohlen.*
Anpassung:
Erhältlich in Längen von 150–1500 mm, Spitzenformen (Kantengriff, Bernoulli, flach), Montageflanschmuster gemäß OEM-Zeichnung. Teilbeschichtung (nur Kontaktflächen) oder Vollbeschichtung optional.
Fordern Sie eine Probe für Haftungs- und Reibungsprüfungen an.
