-
Großformatige Aluminiumoxid-Keramikplatte für Halbleiter- und Industrievorrichtungen
St.Cera fertigt großformatige Keramikplatten aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 %. Die maximalen Abmessungen betragen bis zu 1500 mm Länge und 600 mm Breite. Dank präziser Schleifverfahren erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm auf 100 mm und eine Parallelität von 0,002 mm. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Oberflächenqualität für großflächige Anwendungen. Die Platten sind bis zu 100 mm dick und weisen eine Oberflächenrauheit bis zu Ra 0,1 auf. Sie dienen als Vakuumspannfutter, Heizplatten, Isolierplatten und Prozesskammerböden in der Halbleiter-, Display- und Photovoltaikindustrie. Durchgangsbohrungen, Senkbohrungen und Kantenprofilierung sind möglich.
-
ST.CERA kundenspezifische Halbleiter-Keramikbuchse
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
-
ST.CERA Kundenspezifische Halbleiteranlagen Keramikspannfutter
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
-
ST.CERA Kundenspezifische Halbleiteranlagen Keramikplatte
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter Hochtemperatur-, Vakuum- und korrosiven Gasbedingungen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
-
ST.CERA Kundenspezifischer Halbleiter-Keramik-Fokusring
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
-
ST.CERA Kundenspezifischer Fokusring aus Halbleiterkeramik
Die aus hochreiner (über 99,5 %) Aluminiumoxidkeramik hergestellten, durch kaltisostatisches Pressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramikersatzteile werden anschließend präzisionsbearbeitet und poliert. Dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationsfähigkeit erfüllen sie alle strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
-
ST.CERA kundenspezifische Halbleiter-Präzisions-Aluminiumoxid-Keramikbuchse
Die aus hochreiner (über 99,5 %) Aluminiumoxidkeramik hergestellten, durch kaltisostatisches Pressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramikersatzteile werden anschließend präzisionsbearbeitet und poliert. Dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationsfähigkeit erfüllen sie alle strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
-
Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Halbleiteranlagenkomponenten
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor / Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montage von Sensoren, Schrauben und Halterungen ist optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre.
-
Hochtemperaturbeständige Präzisionsbauteile aus Aluminiumoxid-Keramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
-
Hochpräzise und komplexe Keramik für Aluminiumoxid-Keramik-Strukturbauteile
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
-
Ersatzteile für mechanische Ausrüstung aus Aluminiumoxid-Keramik-Strukturbauteilen
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
-
Aluminiumoxid-Keramikstreifen Isolierende Keramik-Strukturbauteile
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
