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Aluminiumoxid-PVD-Isolierring für physikalische Dampfabscheidungssysteme
Der PVD-Isolierring von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % für den Einsatz in PVD-Anlagen (Physical Vapor Deposition) gefertigt. Der Ring isoliert die Kammerkomponenten elektrisch, verhindert Lichtbögen und gewährleistet einen stabilen Plasmabetrieb. Zu seinen wichtigsten Eigenschaften zählen eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), ein spezifischer Widerstand von > 10¹⁴ Ω·mm²/m und eine thermische Stabilität bis 1600 °C. Dank unserer präzisen Bearbeitungsmöglichkeiten erreichen wir Außendurchmesser bis zu 600 mm, Innendurchmesser bis zu 0,2 mm, eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Die Porenfreiheit und chemische Inertheit des Rings gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit auch in aggressiven Sputterumgebungen.
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Aluminiumoxid-Keramikteile für E-Gun-Verdampfungssysteme
St.Cera fertigt hochreine 99,8%ige Aluminiumoxid-Keramikkomponenten speziell für Elektronenstrahlverdampfungssysteme. Das Sortiment umfasst Tiegelauskleidungen, Strahlumlenker, Isolatoren und Montagevorrichtungen. Das Material zeichnet sich durch eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber Temperaturschocks und chemischen Angriffen durch verdampfte Materialien aus. Dank unserer Präzisionsbearbeitung können wir komplexe Geometrien mit minimalen Strukturgrößen von 0,2 mm, einer Ebenheit von 0,003 mm und einer Oberflächenrauheit Ra 0,1 realisieren. Jedes Bauteil wird zu 100 % mittels Koordinatenmessmaschine (KMM) auf Maßgenauigkeit geprüft.
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ST.CERA kundenspezifische Teile aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden aus hochreinem Keramikpulver hergestellt, durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Aufgrund ihrer Eigenschaften wie Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit finden sie breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, der optischen Kommunikation, der Lasertechnik, der Medizintechnik, der Erdölindustrie, der Metallurgie und der Elektronik.
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ST.CERA kundenspezifischer Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik
Der keramische Endeffektor / Handhabungsarm ist an Wafer-Handhabungsrobotern oder „Endeffektoren“ installiert und dient zum Transport von Siliziumwafern in oder aus Kassetten oder Prozesskammern.
Die Vorteile der Verwendung von Keramik liegen in der Verringerung der Durchbiegung aufgrund hoher Biegefestigkeit, der Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und der Vermeidung von Metallverunreinigungen und -partikeln. -
ST.CERA – Kundenspezifische Keramikkomponenten aus 99,5 % Aluminiumoxid
Die aus hochreinem Keramikpulver hergestellten Keramikbauteile werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Aufgrund ihrer Eigenschaften wie Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit finden sie breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, der optischen Kommunikation, der Lasertechnik, der Medizintechnik, der Erdölindustrie, der Metallurgie und der Elektronikindustrie.
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Präzisions-Wafer-Handhabungsarm aus Aluminiumoxid für Halbleiterkeramik
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Isolierte Aluminiumoxid-Keramik-Arm-Halbleiteranlagenkomponenten
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor / Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montage von Sensoren, Schrauben und Halterungen ist optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre
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Hochtemperaturbeständigkeit von Präzisionskeramik aus Aluminiumoxid
Hergestellt aus hochreinem Keramikpulver, wird das Keramikrohr durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Dank seiner zahlreichen Vorteile wie Abriebfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hoher Härte, hoher Zähigkeit und niedrigem Reibungskoeffizienten findet es breite Anwendung in Medizingeräten, Präzisionsmaschinen, Lasern sowie Mess- und Prüfgeräten. Es ist dauerhaft in sauren und alkalischen Umgebungen einsetzbar und hält Temperaturen bis zu 1600 °C stand.
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Hochdruck- und verschleißfester Aluminiumoxid-Keramikstab, Keramikkolben
Hergestellt aus hochreinem Keramikpulver, wird der Keramikstab durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Dank seiner zahlreichen Vorteile wie Abriebfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hoher Härte, hoher Zähigkeit und niedrigem Reibungskoeffizienten findet er breite Anwendung in Medizingeräten, Präzisionsmaschinen, Lasern sowie Mess- und Prüfgeräten. Er ist dauerhaft in sauren und alkalischen Umgebungen einsetzbar und hält Temperaturen bis zu 1600 °C stand.
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Aluminiumoxid-Keramik-Wellenhülse Keramikkolben
Hergestellt aus hochreinem Keramikpulver, wird der Keramikstab durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet. Dank seiner zahlreichen Vorteile wie Abriebfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hoher Härte, hoher Zähigkeit und niedrigem Reibungskoeffizienten findet er breite Anwendung in Medizingeräten, Präzisionsmaschinen, Lasern sowie Mess- und Prüfgeräten. Er ist dauerhaft in sauren und alkalischen Umgebungen einsetzbar und hält Temperaturen bis zu 1600 °C stand. Zu den üblicherweise verwendeten Keramikmaterialien gehören Zirkonoxid, 95–99,9 % reines Aluminiumoxid (Al₂O₃), Siliziumnitrid (Si₃N₄), Aluminiumnitrid (AlN) usw.
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Hervorragende Leistung von mechanischen Strukturbauteilen aus Aluminiumoxidkeramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden aus hochreinem Keramikpulver hergestellt, durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Keramische Strukturbauteile finden breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, der optischen Kommunikation, der Lasertechnik, der Medizintechnik, der Erdölindustrie, der Metallurgie und der Elektronikindustrie.
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Strukturbauteile aus Aluminiumoxid-Keramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
