Aluminiumoxid-Keramikteile für E-Gun-Verdampfungssysteme
St.Cera fertigt hochreine 99,8%ige Aluminiumoxid-Keramikkomponenten speziell für Elektronenstrahlverdampfungssysteme. Das Sortiment umfasst Tiegelauskleidungen, Strahlumlenker, Isolatoren und Montagevorrichtungen. Das Material zeichnet sich durch eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber Temperaturschocks und chemischen Angriffen durch verdampfte Materialien aus. Dank unserer Präzisionsbearbeitung können wir komplexe Geometrien mit minimalen Strukturgrößen von 0,2 mm, einer Ebenheit von 0,003 mm und einer Oberflächenrauheit Ra 0,1 realisieren. Jedes Bauteil wird zu 100 % mittels Koordinatenmessmaschine (KMM) auf Maßgenauigkeit geprüft.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al)₂O₃(und St.Cera-Fertigungskapazitäten):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
| Spezifischer Widerstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximale Länge/Breite | 1500 mm |
| Maximaler Außendurchmesser | 600 mm |
| Mindestmerkmalgröße | 0,2 mm |
| Ebenheit | 0,003 mm |
| Oberflächenbeschaffenheit | Ra0.1 |
| Maximale Betriebstemperatur | 1600 °C |
Anwendungsbereiche:
- • Tiegelauskleidungen und Verdampfungsboote für E-Gun-Anlagen
- • Strahlablenkerben und Aperturplatten
- • Elektrische Isolatoren und Durchführungen
- • Montagevorrichtungen für Verdunstungsquellen
Fertigungspräzision:
Geradheit: 0,005 mm, Rechtwinkligkeit: 0,005 mm, Rundheit: 0,002 mm, Konzentrizität: 0,01 mm.
Vorteile:
- • Keine Kontamination der Dünnschichten durch Tiegelmaterialien
- • Widersteht hohen Temperaturgradienten während der Verdunstung
- • Lange Lebensdauer – 5-mal länger als Graphitalternativen
Anpassung:
Kundenspezifische Tiegelhohlraumformen, Montageflansche, Lochmuster und Oberflächenbeschaffenheiten sind erhältlich.
