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Hochreiner Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor für Wafer-Handling-Roboter
Der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus 99,8 % hochreinem Al₂O₃ mit modernsten 5-Achs-CNC-Schleifmaschinen. Unsere Fertigungskapazitäten umfassen Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren, die die Herstellung komplexer Geometrien mit höchster Präzision ermöglichen. Der Endeffektor zeichnet sich durch ein schlankes Profil (bis zu 1,5 mm) mit einer konischen Vorderkante für ein reibungsloses Einführen des Wafers aus. Das Material bietet hohe Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 800 °C. Jede Einheit wird präzisionsgeschliffen, um eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächengüte von Ra 0,1 zu erreichen. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Waferkontakt und partikelfreien Betrieb in Halbleiterfertigungsanlagen. Erhältlich in Längen von 150 mm bis 450 mm, mit kundenspezifischen Spitzengeometrien (Kantengriff, Bernoulli, flach) und Montageflanschen für OEM-Roboter. Zu den Oberflächenveredelungsoptionen gehören geläppt, poliert oder mit einer ESD-ableitenden Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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ST.CERA kundenspezifischer Bernoulli-Endeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik
Als führender Hersteller von Keramik-Endeffektoren/Handhabungsarmen haben wir einen unkonventionellen Endeffektor/Handhabungsarm entwickelt, der den Bedürfnissen dieses Marktes gerecht wird. Dieser auf dem Bernoulli-Prinzip basierende Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm kann den Wafer mithilfe eines Luftstroms mit minimalem peripherem Kontakt schweben lassen und transportieren.
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ST.CERA Kundenspezifischer ESD-Keramik-Endeffektor
Aufgrund seiner Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
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ST.CERA kundenspezifischer Greiferendeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
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ST.CERA Kundenspezifischer Aluminiumoxid-Keramik-Schalenendeffektor
Es handelt sich um einen schalenförmigen Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm, der unter Vakuumbedingungen eingesetzt wird.
Der Keramik-Endeffektor/Handling-Arm ist im Vergleich zu den Metallvarianten „hitzebeständiger“, „weniger verformbar“ und „leichter“.
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ST.CERA kundenspezifischer Vakuum-Endeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
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ST.CERA kundenspezifischer Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
ST.CERA bietet ESD-Beschichtungen und ESD-Keramikmaterialien für Endeffektoren an. Diese werden aus hochreinem Aluminiumoxidpulver hergestellt, durch Kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung verarbeitet und erreichen eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA kundenspezifischer Vakuum-Endeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik
Es handelt sich um einen schalenförmigen Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm, der unter Vakuumbedingungen eingesetzt wird.
Der Keramik-Endeffektor/Handling-Arm ist im Vergleich zu den Metallvarianten „hitzebeständiger“, „weniger verformbar“ und „leichter“.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA kundenspezifische Waferhandhabung mit Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
ST.CERA bietet Endeffektoren/Handhabungsarme aus ESD-beschichtetem und ESD-Keramikmaterial mit integriertem Hohlkanal an. Wir sind spezialisiert auf ein Verfahren, das ohne Klebstoff einen Vakuumkanal im Inneren eines einzelnen Materialstücks erzeugt.
Es besteht kein Risiko von Verunreinigungen, Ausgasungen oder Partikeln. Der Vakuum-Endeffektor/Handhabungsarm von ST.CERA mit spezieller Beschichtungstechnologie ist elektrisch isoliert. Wir bieten auch ESD-Keramikmaterial an, das elektrisch isoliert und unbeschichtet ist.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃. -
Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Halbleiteranlagenkomponenten
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre.
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Kundenspezifische CNC-Bearbeitung des St.Cera Keramik-Endeffektors
ST.CERA bietet einen Vakuum-Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm mit integriertem Hohlkanal an. Wir sind spezialisiert auf ein Verfahren, das einen Vakuumluftkanal innerhalb eines einzigen Materialstücks ohne Klebstoff erzeugt.
Es besteht kein Risiko von Verunreinigungen, Ausgasungen oder Partikeln. Der Vakuum-Endeffektor/Handhabungsarm von ST.CERA mit integriertem Kanal ist robust und hochtemperaturbeständig. Zudem können wir durch den Wegfall unnötiger Montagearbeiten unsere Fertigungskosten senken.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Aluminiumoxid-Antistatik-Keramik-Endeffektor
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
