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Roboterarm aus hochreinem Aluminiumoxid-Keramik für die Wafer-Handhabung
Der aus Aluminiumoxidkeramik gefertigte Roboterarm von St.Cera besteht aus hochreinem Al₂O₃ (Aluminiumoxid) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % und zeichnet sich durch außergewöhnliche Biegefestigkeit (361 MPa), hohe Härte (16 GPa) und geringe Dichte (3,93 g/cm³) aus. Das Ergebnis ist ein leichter und dennoch stabiler Arm für den Transfer von Halbleiterwafern. Der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials (7,2 × 10⁻⁶/°C) ist dem von Silizium sehr ähnlich, wodurch thermische Unterschiede während der Bearbeitung minimiert werden.
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Bernoulli-Keramik-Endeffektor – Berührungslose Waferhandhabung für dünne und zerbrechliche Wafer
Der Bernoulli-Keramik-Endeffektor von St.Cera nutzt aerodynamischen Auftrieb zur berührungslosen Waferhandhabung. Er wird aus hochreinem 99,8%igem Aluminiumoxid (Al₂O₃) oder Siliziumkarbid (SiC) gefertigt und verfügt über präzisionsgefertigte Düsen, die unter Druck stehendes Gas ausstoßen, um einen dünnen Luftfilm zwischen Endeffektor und Wafer zu erzeugen. Dieses berührungslose Prinzip verhindert Verunreinigungen auf der Rückseite, Absplitterungen an den Kanten und Oberflächenbeschädigungen und ist daher ideal für dünne (≤100 µm), empfindliche oder verzogene Wafer. Das Keramiksubstrat bietet eine hohe Biegefestigkeit (361 MPa für Al₂O₃; bis zu 550–600 MPa für SiC), eine geringe Masse und eine ausgezeichnete Dimensionsstabilität. Dies gewährleistet eine wiederholgenaue Positionierung in Hochgeschwindigkeits-Wafer-Transferrobotern.
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Teflonbeschichteter Keramik-Endeffektor – Antihaftoberfläche für die empfindliche Wafer-Handhabung
Der Teflon (PTFE)-beschichtete Keramik-Endeffektor von St.Cera kombiniert ein hochfestes Aluminiumoxid-Substrat mit einer gleichmäßigen, reibungsarmen PTFE-Beschichtung (Dicke 15–30 µm). Die Beschichtung bietet einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten (≤ 0,1), ausgezeichnete chemische Beständigkeit und Antihaft-Eigenschaften, wodurch das Anhaften von Wafern verhindert und Verunreinigungen auf der Rückseite vermieden werden. Das darunterliegende Keramiksubstrat (99,8 % Al₂O₃) zeichnet sich durch hohe Biegefestigkeit (361–1000 MPa), Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 260 °C (Beschichtungsgrenze) aus. Dieser Endeffektor ist ideal für die Handhabung empfindlicher, dünner oder klebriger Wafer (z. B. nach Fotolackbeschichtung oder chemischen Prozessen).
