Roboterarm aus hochreinem Aluminiumoxid-Keramik für die Wafer-Handhabung
Der aus Aluminiumoxidkeramik gefertigte Roboterarm von St.Cera besteht aus hochreinem Al₂O₃ (Aluminiumoxid) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % und zeichnet sich durch außergewöhnliche Biegefestigkeit (361 MPa), hohe Härte (16 GPa) und geringe Dichte (3,93 g/cm³) aus. Das Ergebnis ist ein leichter und dennoch stabiler Arm für den Transfer von Halbleiterwafern. Der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials (7,2 × 10⁻⁶/°C) ist dem von Silizium sehr ähnlich, wodurch thermische Unterschiede während der Bearbeitung minimiert werden.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Farbe | Elfenbein |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Wärmeleitfähigkeit | 32 W/m·k |
| Wärmeausdehnung | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
Anwendungsbereiche:
- Vakuum-Wafer-Transferroboter (200 mm/300 mm)
- Atmosphärische Handhabungssysteme
- Endeffektorarme für die FAB-Automatisierung
Herstellungsprozess:
Isostatisches Pressen → Grünbearbeitung → Sintern bei 1600 °C → CNC-Präzisionsschleifen → Ultraschallreinigung → Verpackung im Reinraum der Klasse 100. Jeder Arm wird zu 100 % mittels Koordinatenmessmaschine (KMM) auf Ebenheit (±0,01 mm) und Oberflächenrauheit (Ra ≤0,4 μm) geprüft.
Qualitätskontrolle:
St.Cera ist nach ISO 9001:2015 zertifiziert. Wir führen Eindringprüfungen mit Farbstoffen auf Mikrorisse, Dreipunktbiegeversuche zur Bestimmung der Biegefestigkeit und Durchschlagsfestigkeitsprüfungen gemäß ASTM D149 durch.
Vorteile gegenüber Metallarmen:
- 50 % leichter als Edelstahl
- Keine galvanische Korrosion
- Geringere Partikelerzeugung (≤0,05 Partikel/cm²)
- ESD-sichere Beschichtung erhältlich (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Anpassung:
Längen von 150 mm bis 450 mm, Spitzenformen (Kantengriff, Bernoulli, Vakuum) und Montageflanschmuster gemäß OEM-Zeichnungen. Prototypen in 2 Wochen.
Bei größeren Bestellmengen fordern Sie bitte ein Angebot an.
