Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor / Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montage von Sensoren, Schrauben und Halterungen ist optional erhältlich.