Hochreiner Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor für Wafer-Handling-Roboter
Der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus 99,8 % hochreinem Al₂O₃ mit modernsten 5-Achs-CNC-Schleifmaschinen. Unsere Fertigungskapazitäten umfassen Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren, die die Herstellung komplexer Geometrien mit höchster Präzision ermöglichen. Der Endeffektor zeichnet sich durch ein schlankes Profil (bis zu 1,5 mm) mit einer konischen Vorderkante für ein reibungsloses Einführen des Wafers aus. Das Material bietet hohe Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 800 °C. Jede Einheit wird präzisionsgeschliffen, um eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächengüte von Ra 0,1 zu erreichen. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Waferkontakt und partikelfreien Betrieb in Halbleiterfertigungsanlagen. Erhältlich in Längen von 150 mm bis 450 mm, mit kundenspezifischen Spitzengeometrien (Kantengriff, Bernoulli, flach) und Montageflanschen für OEM-Roboter. Zu den Oberflächenveredelungsoptionen gehören geläppt, poliert oder mit einer ESD-ableitenden Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al)₂O₃(und St.Cera-Fertigungskapazitäten):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Ebenheit | 0,003 mm |
| Parallelität | 0,002 mm |
| Oberflächenbeschaffenheit | Ra0,1 (geläppt/poliert) |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C |
| Längenbereich | 150–450 mm |
Anwendungsbereiche:
- • Wafertransfer in Vakuum- und Atmosphärenrobotern
- • FAB-Automatisierungsendeffektoren für 200-mm-/300-mm-Wafer
- • Handhabung dünner Wafer (mit ESD-Option)
Fertigungskapazitäten:
Unsere Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren ermöglichen die Herstellung komplexer Keramikbauteile mit folgenden Eigenschaften:
- • Maximale Bearbeitungslänge: 1500 mm
- • Maximaler Außendurchmesser: 600 mm
- • Minimaler Innendurchmesser: 0,2 mm
- • Maximale Dicke: 100 mm
Qualitätskontrolle:
Geradheit 0,005 mm, Rechtwinkligkeit 0,005 mm, Rundheit 0,002 mm, Parallelität 0,002 mm, Konzentrizität 0,01 mm, geprüft mittels Koordinatenmessmaschine. Jede Einheit wird ultraschallgereinigt und in einem Reinraum der Klasse 100 verpackt.
