Aluminiumoxid-Vakuumfutter für präzises Trennen und Schleifen
Die Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid von St.Cera werden aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) mit präzisionsgefertigten Vakuumnuten hergestellt. Dank unserer Präzisionsschleiftechnik erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Parallelität von 0,002 mm. Dies gewährleistet eine verzugsfreie Waferfixierung beim Vereinzeln, Rückseitenschleifen und der Inspektion. Das Material zeichnet sich durch hohe Biegefestigkeit (361 MPa), Härte (16 GPa) und thermische Stabilität bis 800 °C aus. Die Spannfutter sind in runden Formen bis zu 600 mm Außendurchmesser und in rechteckigen Formen bis zu 1500 mm Länge erhältlich. Die Vakuumnuten werden kundenspezifisch (konzentrisch, radial oder als Gittermuster) an die jeweiligen Prozessanforderungen angepasst. Jedes Spannfutter wird mit einem Laserinterferometer geprüft und mit einem Ebenheitsprüfbericht geliefert.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al)₂O₃(und St.Cera-Fertigungskapazitäten):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Außendurchmesser (max.) | 600 mm |
| Dicke (max.) | 100 mm |
| Länge (max.) | 1500 mm |
| Ebenheit | 0,003 mm |
| Parallelität | 0,002 mm |
| Oberflächenbeschaffenheit | Ra0.1 |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C |
Anwendungsbereiche:
- • Scheibentrennen und -ritzen (200 mm/300 mm und größer)
- • Rückseitenschleifen von dünnen Plättchen
- • Optische Inspektion und Abtastung
- • Handhabung großer Substrate
Fertigungspräzision:
- • Geradheit: 0,005 mm
- • Rechtwinkligkeit: 0,005 mm
- • Rundheit: 0,002 mm
- • Konzentrizität: 0,01 mm
