Standard-Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid – Hohe Steifigkeit für die Präzisionsbearbeitung
Dieser Vakuumspannfutter auf Aluminiumoxidbasis besteht aus 99,8 % Al₂O₃ und bietet eine glatte, porenfreie Oberfläche mit individuell anpassbaren Vakuumnuten. Er zeichnet sich durch außergewöhnliche Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa) und Planheit (≤ 3 μm) aus und ist somit ideal für das Präzisionsschleifen, Läppen und Vereinzeln von Halbleiterwafern und optischen Bauteilen geeignet. Die hohe Wärmeleitfähigkeit des Materials (32 W/m·K) gewährleistet eine gleichmäßige Temperaturverteilung während der Bearbeitung.
Spezifikationen(basierend auf 99,8 % Al)₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Wärmeleitfähigkeit | 32 W/m·k |
| Ebenheit | ≤3 μm (über 200 mm) |
| Oberflächenrauheit (Spannfutterseite) | Ra ≤0,4 μm |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C |
Anwendungsbereiche:
- • Rückseitenschleifen der Wafer (grob und fein)
- • Präzises Zerkleinern von spröden Materialien
- • Läppen von Keramiksubstraten
- • Polieren von optischen Linsen
Herstellung:
Präzisionsläppen beider Seiten → Diamantnutenfräsen (optional) → Kantenverrundung → Ultraschallreinigung → 100% Ebenheitsprüfung mit Laserinterferometer.
AVorteile:
- • Eine starre Lagerung minimiert die Durchbiegung unter Last
- • Keine Partikelbildung aus der porösen Struktur
- • Leicht zu reinigen (mit Lösungsmitteltüchern wischbar)
- • Vakuumnuten individuell anpassbar (konzentrisch, radial, benutzerdefinierte Muster)
Verfügbare Größen:
Rund: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; quadratisch/rechteckig auf Anfrage.
Für höhere mechanische Festigkeit bieten wir auch Ausführungen aus Metall an.
