Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikkern für Halbleitervorrichtungen
Der Aluminiumoxid-Keramikkern von St.Cera wird präzisionsgeformt aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) und bietet eine außergewöhnliche Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und Kriechfestigkeit unter Last. Diese Kerne werden als Strukturbauteile in Hochtemperatur-Prozessvorrichtungen, Heizplatten, Plasmakammerauskleidungen und elektrischen Isolatoren eingesetzt. Die hohe Härte (16 GPa) und die geringe Wasseraufnahme (0 %) des Materials gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit auch unter rauen Umgebungsbedingungen.
Spezifikationen(basierend auf 99,8 % Al)₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Bruchzähigkeit | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Wärmeleitfähigkeit | 32 W/m·k |
| Wärmeausdehnung (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
| Spezifischer Widerstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximale Betriebstemperatur | 1600 °C |
Anwendungsbereiche:
- • Heizkern für Epitaxialreaktoren
- • Auskleidung und Abdeckplatten der Plasmakammer
- • Hochspannungsisolatoren
- • Halterungsbasis für Wafer-Handling-Roboter
Herstellung:
Isostatisches Pressen → Grünbearbeitung → Sintern bei 1600 °C → CNC-Schleifen auf Endmaße (Toleranz ±0,01 mm). Jeder Kern wird mittels Koordinatenmessmaschine und Ultraschallprüfung geprüft.
Qualitätssicherung:
ISO 9001:2015 zertifiziert. Eindringprüfung mit Farbstoff auf Oberflächenrisse; Prüfung der Durchschlagsfestigkeit nach ASTM D149.
AVorteile gegenüber anderen Keramiken:
- • Höhere Durchschlagsfestigkeit als Zirkonoxid (15 gegenüber <10×10⁶ V/m)
- • Geringere Kosten als SiC für Anwendungen außerhalb der Plasmaerzeugung
- • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber Halogenen (außer HF)
Benutzerdefinierte Formen:
Zylinder, Vierkantstäbe, Platten oder komplexe Geometrien. Minimale Merkmalsgröße 0,5 mm.
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