ST.CERA kundenspezifischer Vakuum-Endeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik

Kurzbeschreibung:

Es handelt sich um einen schalenförmigen Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm, der unter Vakuumbedingungen eingesetzt wird.

Der Keramik-Endeffektor/Handling-Arm ist im Vergleich zu den Metallvarianten „hitzebeständiger“, „weniger verformbar“ und „leichter“.

Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.

Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.