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Aluminiumoxid-Wafer-Handhabungs-Endeffektor Halbleiterkeramik
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre.
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Waferhandhabung des Keramik-Endeffektors
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre.
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Präzisions-Wafer-Handhabungsarm aus Aluminiumoxid für Halbleiterkeramik
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Isolierte Aluminiumoxid-Keramik-Arm-Halbleiteranlagenkomponenten
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre
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Wafer-Handling Keramikarm Präzisionskeramik komplexe Formen
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre
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Roboterarm aus Aluminiumoxidkeramik mit Verschleißfestigkeit und hoher Härte
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre
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Waferhandhabung mit Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Keramische mechanische Bauteile für Spezialausrüstung
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor/Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montagesensoren, Schrauben und Halterungen sind optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre
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Präzisionsbearbeitung und Stanzen von Aluminiumoxid-Keramikstäben
Hergestellt aus hochreinem Keramikpulver, wird der Keramikstab durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Dank seiner zahlreichen Vorteile wie Abriebfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hoher Härte, hoher Zähigkeit und niedrigem Reibungskoeffizienten findet er breite Anwendung in Medizingeräten, Präzisionsmaschinen, Lasern sowie Mess- und Prüfgeräten. Er ist dauerhaft in sauren und alkalischen Umgebungen einsetzbar und hält Temperaturen bis zu 1600 °C stand.
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Aluminiumoxid-Präzisionskeramik für kundenspezifische Anwendungen
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen hergestellt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 400℃~800℃.
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Präzisions-Keramikring aus Aluminiumoxid
Die durch Kaltisostatpressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramik-Ersatzteile werden präzisionsbearbeitet und poliert und erfüllen dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationseigenschaften selbst höchste Anforderungen an Halbleiteranlagen. Keramik eignet sich für den Langzeiteinsatz in vielen Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperaturen, Vakuum oder korrosiver Gase.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Aluminiumoxid-Keramikarm
Die durch Kaltisostatpressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramik-Ersatzteile werden präzisionsbearbeitet und poliert und erfüllen dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationseigenschaften selbst höchste Anforderungen an Halbleiteranlagen. Keramik eignet sich für den Langzeiteinsatz in vielen Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperaturen, Vakuum oder korrosiver Gase.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
