Aluminiumoxid-PVD-Isolierring für physikalische Dampfabscheidungssysteme
Der PVD-Isolierring von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % für den Einsatz in PVD-Anlagen (Physical Vapor Deposition) gefertigt. Der Ring isoliert die Kammerkomponenten elektrisch, verhindert Lichtbögen und gewährleistet einen stabilen Plasmabetrieb. Zu seinen wichtigsten Eigenschaften zählen eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), ein spezifischer Widerstand von > 10¹⁴ Ω·mm²/m und eine thermische Stabilität bis 1600 °C. Dank unserer präzisen Bearbeitungsmöglichkeiten erreichen wir Außendurchmesser bis zu 600 mm, Innendurchmesser bis zu 0,2 mm, eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Die Porenfreiheit und chemische Inertheit des Rings gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit auch in aggressiven Sputterumgebungen.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al)₂O₃(und St.Cera-Fertigungskapazitäten):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
| Spezifischer Widerstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximaler Außendurchmesser | 600 mm |
| Mindestinnendurchmesser | 0,2 mm |
| Maximale Dicke | 100 mm |
| Ebenheit | 0,003 mm |
| Parallelität | 0,002 mm |
| Oberflächenbeschaffenheit | Ra0.1 |
| Maximale Betriebstemperatur | 1600 °C |
Anwendungsbereiche:
- • Ziel-Trägerplattenisolatoren in PVD-Systemen
- • Kammerdurchführungsisolatoren
- • Abschirmringisolatoren in Sputtersystemen
- • Hochspannungsisolierung in Plasmakammern
Fertigungspräzision:
Konzentrizität: 0,01 mm, Rundheit: 0,002 mm, Geradheit: 0,005 mm, Rechtwinkligkeit: 0,005 mm, verifiziert durch CMM.
AVorteile gegenüber Polymerisolatoren:
- • Hält Temperaturen bis zu 1600 °C stand, im Vergleich zu den <300 °C des Polymers.
- • Keine Ausgasung – erhält die Vakuumdichtigkeit
- • Widersteht Plasmaerosion und chemischen Angriffen
Anpassung:
Kundenspezifische Querschnitte, Montageoptionen, Stufenprofile und verschiedene konzentrische Ringdesigns sind erhältlich.
