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ST.CERA kundenspezifischer Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik

ST.CERA Kundenspezifischer Laderarm aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik (Abbildung)
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ST.CERA kundenspezifischer Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik

Kurzbeschreibung:

Der keramische Endeffektor / Handhabungsarm ist an Wafer-Handhabungsrobotern oder „Endeffektoren“ installiert und dient zum Transport von Siliziumwafern in oder aus Kassetten oder Prozesskammern.
Die Vorteile der Verwendung von Keramik liegen in der Verringerung der Durchbiegung aufgrund hoher Biegefestigkeit, der Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und der Vermeidung von Metallverunreinigungen und -partikeln.


Produktdetails

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Produktdetails

Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.

Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht der keramische Endeffektor eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.

Dank einer einzigartigen Keramikverbindungstechnologie kann der Keramik-Endeffektor mit Hohlraum bei einer hohen Temperatur von 800℃ eingesetzt werden.

Hier sind die Eigenschaften von Aluminiumoxidkeramik mit unterschiedlichem Reinheitsgrad aufgeführt.

Produktparameter

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ST.CERA CO., LTD.

Materialdatenblatt

Eigenschaften Einheit Aluminiumoxid (Al2O3)
99% Al2O3 99,5 % Al2O3 99,8 % Al2O3 99,9 % Al2O3
Farbe — Weiß Elfenbein Elfenbein Elfenbein
Dichte g/cm³ 3,88 3,90 3,93 3,95
Wasseraufnahme % 0 0 0 0
Körnung μm 2–5 2–5 2–5 2–4
Biegefestigkeit MPa 350 360 361 350
Bruchzähigkeit MPa·m1/2 3–4 3–4 3–4 3–4
Vickers-Härte GPa 14 15,5 16 16
Elastizitätsmodul (Young-Modul) GPa 370 370 380 390
Wärmeleitfähigkeit W/m·k 28 32 32 34
Wärmeausdehnungskoeffizient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrizitätskonstante — 9,5 9.6 9.6 9,9
Dielektrischer Verlustwinkel — 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Durchschlagsfestigkeit V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Spezifischer Widerstand Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produktionsprozess

Sprühgranulierung → Keramikpulver → Formgebung → Rohlingssintern → Grobschleifen → CNC-Bearbeitung → Feinschleifen → Maßprüfung → Reinigung und Verpackung

Wesentliche Details

Herkunftsort: Hunan, China
Material: Aluminiumoxidkeramik
HS-Code: 85471000
Lieferfähigkeit: 100 Stück pro Monat
Lieferzeit: 3-4 Wochen
Verpackung: Wellpappkarton, Schaumstoff, Umkarton
Sonstiges: Anpassungsservice verfügbar

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