Keramischer Stützstift für Vorrichtungen in der Halbleiterfertigung
Die keramischen Stützstifte von St.Cera (auch als Hubstifte oder Stützstifte bekannt) werden in Halbleiterprozesskammern eingesetzt, um Wafer oder Substrate beim Handling, Erhitzen oder Abkühlen anzuheben. Hergestellt aus 99,8 % Aluminiumoxid oder Siliziumnitrid, bieten diese Stifte hohe Druckfestigkeit, thermische Stabilität und chemische Beständigkeit. Die halbkugelförmige oder flache Spitze verhindert Kratzer auf dem Wafer.
Spezifikationen(Aluminiumoxid 99,8%):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Al₂O₃ oder Si₃N₄ |
| Länge | 10 – 100 mm |
| Durchmesser | 1 – 10 mm |
| Spitzenform | Flach, halbkugelförmig, spitz |
| Druckfestigkeit (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maximale Betriebstemperatur (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Oberflächenbeschaffenheit | Geläppt (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleranz beim Durchmesser | ±0,01 mm |
Anwendungsbereiche:
Hubstifte in CVD/PVD-Kammern
Stützstifte für das Backen auf der Heizplatte
Stützstrukturen für Prüfkarten
Quarzofenbootstützen
Herstellung:
Präzisionsspitzenloses Schleifen des Außendurchmessers → Diamantschleifen des Spitzenprofils → Ultraschallreinigung → 100% Maßprüfung.
Qualitätskontrolle:
Koordinatenmessgerät für Längen- und Durchmessermessung, optischer Komparator für Spitzenradiusmessung, Belastungsprüfung zur Überprüfung der Druckfestigkeit (Stichprobe pro Charge). Keine ferromagnetischen Verunreinigungen (mit Magnet überprüft).
Vorteile gegenüber Metall- oder Quarzstiften:
5-mal längere Lebensdauer als Edelstahl
Keine Metallverunreinigung in der Prozesskammer
Höhere Temperaturbeständigkeit als Quarz (1600 °C gegenüber 1100 °C)
Antihaftbeschichtung (reduzierte Partikelhaftung)
Anpassung:
Mehrere Spitzenprofile, Gewindefuß oder konischer Schaft.
Wir liefern auch SiC-Stifte für extreme Plasmaumgebungen.
