Aluminiumoxid-Gasverteilerplatte für CVD/PVD-Duschkopf
Die Gasverteilerplatte (Duschkopf) von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus hochreiner 99,8%iger Aluminiumoxidkeramik. Sie verfügt über eine Anordnung von Mikrobohrungen (Durchmesser 0,3–1,5 mm), die einen gleichmäßigen Gasfluss über die Waferoberfläche während CVD-, PVD- oder ALD-Prozessen gewährleisten. Die hohe Durchschlagsfestigkeit (>15×10⁶ V/m) und Plasmabeständigkeit der Platte machen sie unverzichtbar für die Halbleiter-Dünnschichtabscheidung.
Spezifikationen:
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Al₂O₃ oder SiC |
| Durchmesser | 100 – 1500 mm (rund) oder rechteckig |
| Dicke | 5 – 20 mm |
| Lochdurchmesser | 0,3 – 1,5 mm |
| Lochmuster | Benutzerdefiniert (dreieckig, quadratisch, radial) |
| Ebenheit | ≤10 μm über die gesamte Fläche |
| Oberflächenrauheit | Ra ≤0,6 μm (Gasseite) |
| Freiflächenanteil | 5–15 % |
Anwendungsbereiche:
PECVD-Duschkopfplatten
ALD-Gasinjektoren
Gasverteilungsplatten der Ätzkammer
MOCVD-Reaktorkomponenten
Herstellung:
Aluminiumoxidsubstrat plan geläppt → CNC-Bohren mit diamantbeschichteten Werkzeugen (Lochpositionstoleranz ±0,02 mm) → Entgraten → Ultraschallreinigung → Verpackung der Klasse 100.
Qualitätskontrolle:
Jede Platte wird zu 100 % auf Lochgröße (Bildverarbeitungssystem), Ebenheit (Laserinterferometer) und Gleichmäßigkeit des Gasflusses (Druckmessung) geprüft. Unter dem Mikroskop (20-fache Vergrößerung) sind keine Mikrorisse erkennbar.
Vorteile gegenüber Metallplatten:
Keine metallische Verunreinigung in Dünnschichten
Geringere Partikelbildung (keine Korrosionsflocken)
Beständig gegen aggressive Reinigungsplasmen (CF₄, NF₃)
Benutzerdefinierte Funktionen:
Gaskanäle auf der Rückseite, Senkbohrungen, Kantendichtungen und unterschiedliche Materialqualitäten (SiC für höhere Wärmeleitfähigkeit, Y₂O₃-Beschichtung für Plasmabeständigkeit).
Wir bieten CAD-Verifizierung und Strömungssimulation vor der Fertigung an.
