Vakuumspannfutter aus poröser Keramik für die Handhabung verzogener Wafer
Der poröse Keramik-Chuck von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid mit einer gleichmäßigen offenen Porosität von 30–45 % und Porengrößen von 10 bis 100 µm gefertigt. Im Gegensatz zu herkömmlichen gerillten Chucks erzeugt die poröse Oberfläche ein gleichmäßiges Vakuum auf der gesamten Wafer-Rückseite und hält so auch verzogene, dünne oder vereinzelte Wafer sicher, ohne dass es zu Kantenablösungen oder Brüchen kommt. Das sanfte Vakuum (einstellbar über einen Drosselventil) verhindert zudem Beschädigungen der Rückseite.
Spezifikationen(basierend auf 99,6 % Al)₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Porosität | 30–45 % |
| Mittlere Porengröße | 10–100 μm (auswählbar) |
| Biegefestigkeit | ≥250 MPa |
| Ebenheit (über 300 mm) | ≤5 μm |
| Oberflächenbeschaffenheit | Geläppt (Ra 0,8 μm) |
| Maximaler Vakuumpegel | -80 kPa |
| Betriebstemperatur | 400 °C (Luft), 600 °C (Inertgas) |
| Material | 99,6 % Al₂O₃, ZrO₂ oder SiC |
Anwendungsbereiche:
Rückseitenschleifen dünner Wafer (≤50 μm)
Verzogene Waferhalterung zum Vereinzeln
Einzelstempelaufnahme vom Band
Handhabung von Glasscheiben
Fertigung & Qualität:
Keramisches Pulver wird mit organischen Porenbildnern vermischt → gepresst → gesintert → auf die endgültige Dicke geläppt. Jedes Spannfutter wird auf Vakuumgleichmäßigkeit (≤ 5 % Abweichung) geprüft und die Porengrößenverteilung (REM) untersucht. Die Ebenheit wird mit einem Laserinterferometer gemessen.
Vorteile gegenüber gerillten Spannfuttern:
Keine Markierung am Waferrand oder Chipverschiebung
Hält verzogene Wafer (bis zu 500 μm Biegung)
Verhindert Verstopfungen der Vakuumöffnung
Selbstnivellierende Trägerstruktur für dünne Untergründe
Anpassung:
Runde oder rechteckige Formen, Größe bis zu 600 mm. Wir können Kantendichtungsringe oder Zonenvakuumtrennwände anbringen. Metallverstärkte Ausführungen sind für hohe Stabilitätsanforderungen erhältlich.
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