Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikring für CVD-/PVD-Prozesskammern
Der Keramikring von St.Cera wurde speziell für den Einsatz in CVD- (Chemical Vapor Deposition) und PVD-Prozesskammern (Physical Vapor Deposition) entwickelt. Gefertigt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 %, dient dieser Ring als Kammerauskleidung, Fokussierring oder Komponente eines Prozesskits, um Plasma einzuschließen und die Kammerwände vor Erosion zu schützen. Das Material bietet eine ausgezeichnete Plasmabeständigkeit, eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m) und thermische Stabilität bis 1600 °C und gewährleistet so eine lange Lebensdauer in aggressiven, fluorbasierten Plasmaumgebungen. Präzise Maßtoleranzen (±0,05 mm Innen-/Außendurchmesser) und eine hohe Planheit (≤10 μm) ermöglichen eine gleichmäßige Positionierung der Waferkanten, verbessern die Gleichmäßigkeit der Abscheidung und reduzieren die Partikelbildung.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Wasseraufnahme | 0% |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Bruchzähigkeit | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Wärmeleitfähigkeit | 32 W/m·k |
| Wärmeausdehnung (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
| Spezifischer Widerstand | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maximale Betriebstemperatur | 1600 °C |
Anwendungsbereiche:
- • CVD-Kammer-Fokusringe und Randringe
- • PVD-Kammerabschirmungsringe und Klemmringe
- • Ätzkammerauskleidungen und Abdeckringe
- • Plasmaeinschlussringe in dielektrischen Ätzsystemen
Herstellungsprozess:
Isostatisches Pressen → Grünbearbeitung → Sintern bei 1600 °C → CNC-Innen-/Außenschleifen → Oberflächenläppen → Ultraschallreinigung → 100 % CMM-Prüfung. Die ultra-glatte Oberfläche (Ra ≤ 0,4 μm) minimiert die Partikelanhaftung.
Qualitätskontrolle:
- • 100% Maßprüfung (Innendurchmesser, Außendurchmesser, Dicke, Ebenheit)
- • Eindringprüfung mit Farbstoff auf Oberflächenmikrorisse
- • Prüfung der Durchschlagsfestigkeit gemäß ASTM D149
- • Unter 20-facher Vergrößerung keine sichtbaren Verfärbungen oder Porosität.
Vorteile gegenüber Ringen aus Metall oder Quarz:
- • 5–10-mal längere Lebensdauer als Aluminiumringe in Fluorplasma
- • Keine Metallverunreinigung in Dünnschichten
- • Höhere Plasmabeständigkeit als Quarz (keine Erosionsgruben)
- • Gewährleistet auch nach längerem Gebrauch eine elektrische Isolation von >10¹⁴ Ω·cm
Alternativmaterial – Siliziumnitrid (Si₃N₄):
Für Anwendungen, die eine noch höhere Bruchzähigkeit (6,2 MPa·m¹/²) und eine bessere Temperaturwechselbeständigkeit (Ausdehnungskoeffizient 3,2 × 10⁻⁶/℃) erfordern, sind Si₃N₄-Ringe erhältlich. Aluminiumoxid ist jedoch für die meisten CVD/PVD-Anwendungen kostengünstiger. Bitte geben Sie bei der Bestellung Ihre Materialpräferenz an.
Anpassung:
- • Durchgangslöcher, Stufenprofile oder Senkbohrungen zur Montage
- • Y₂O₃-beschichtete Oberfläche für erhöhte Plasmabeständigkeit (optional)
- • Lasergravur der Teilenummer / Chargennummer
Notiz:Die obigen Daten entsprechen exakt der mitgelieferten Al₂O₃-Eigenschaftstabelle. Informationen zu Si₃N₄-Ringen finden Sie im separaten Si₃N₄-Datenblatt.
