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Präzisionskeramisches Führungsrohr für Drahtbonden und Chipmontage
Die Keramikführungsrohre von St.Cera werden aus 99,5 % Aluminiumoxid oder yttriumstabilisiertem Zirkonoxid gefertigt und zeichnen sich durch hohe Verschleißfestigkeit und eine glatte Innenbohrung (Ra ≤ 0,2 μm) aus. Diese Rohre sind wichtige Komponenten in Drahtbondmaschinen, Chipmontageanlagen und Bestückungsautomaten. Sie führen Bonddrähte, Kapillaren oder Vakuumdüsen mit minimaler Reibung und ohne Partikelverunreinigung.
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Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikkern für Halbleitervorrichtungen
Der Aluminiumoxid-Keramikkern von St.Cera wird präzisionsgeformt aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) und bietet eine außergewöhnliche Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und Kriechfestigkeit unter Last. Diese Kerne werden als Strukturbauteile in Hochtemperatur-Prozessvorrichtungen, Heizplatten, Plasmakammerauskleidungen und elektrischen Isolatoren eingesetzt. Die hohe Härte (16 GPa) und die geringe Wasseraufnahme (0 %) des Materials gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit auch unter rauen Umgebungsbedingungen.
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Standard-Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid – Hohe Steifigkeit für die Präzisionsbearbeitung
Dieser Vakuumspannfutter auf Aluminiumoxidbasis besteht aus 99,8 % Al₂O₃ und bietet eine glatte, porenfreie Oberfläche mit individuell anpassbaren Vakuumnuten. Er zeichnet sich durch außergewöhnliche Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa) und Planheit (≤ 3 μm) aus und ist somit ideal für das Präzisionsschleifen, Läppen und Vereinzeln von Halbleiterwafern und optischen Bauteilen geeignet. Die hohe Wärmeleitfähigkeit des Materials (32 W/m·K) gewährleistet eine gleichmäßige Temperaturverteilung während der Bearbeitung.
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ST.CERA – kundenspezifische Lösungen für Aluminiumoxid-Keramikringe und Keramikscheiben
Die durch Kaltisostatpressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramik-Ersatzteile werden präzisionsbearbeitet und poliert und erfüllen dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationseigenschaften selbst höchste Anforderungen an Halbleiteranlagen. Keramik eignet sich für den Langzeiteinsatz in vielen Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperaturen, Vakuum oder korrosiver Gase.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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Präzisions-Keramikspannfutter für Halbleiteranlagen
Die durch Kaltisostatpressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramik-Ersatzteile werden präzisionsbearbeitet und poliert und erfüllen dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationseigenschaften selbst höchste Anforderungen an Halbleiteranlagen. Keramik eignet sich für den Langzeiteinsatz in vielen Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperaturen, Vakuum oder korrosiver Gase.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
