ST.CERA Kundenspezifischer Fokusring aus Halbleiterkeramik
Die aus hochreiner (über 99,5 %) Aluminiumoxidkeramik hergestellten, durch kaltisostatisches Pressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramikersatzteile werden anschließend präzisionsbearbeitet und poliert. Dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationsfähigkeit erfüllen sie alle strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
