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ST.CERA Maßgeschneiderte Teile aus 99,5 % Aluminiumoxidkeramik
Keramische Strukturteile sind ein allgemeiner Begriff für verschiedene komplizierte Formen von Keramikteilen.Die Keramikteile bestehen aus hochreinem Keramikpulver und werden durch Trockenpressen oder kaltisostatisches Pressen geformt, bei hoher Temperatur gesintert und anschließend präzisionsbearbeitet.Aufgrund seiner Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolierung wird es häufig in der Halbleiterausrüstung, der optischen Kommunikation, der Laser-, medizinischen Ausrüstungs-, Erdöl-, Metallurgie- und Elektronikindustrie eingesetzt.
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ST.CERA maßgeschneiderter Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxidkeramik
Der Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm wird auf einem Wafer-Handhabungsroboter oder „Endeffektoren“ installiert und dient zum Transport von Siliziumwafern in oder aus Kassetten oder Prozesskammern.
Die Vorteile der Verwendung von Keramik liegen in der Verringerung der Durchbiegung aufgrund der hohen Biegefestigkeit, der Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und der Eliminierung von Metallverunreinigungen und -partikeln.
