Präzisions-Positionierstab aus Aluminiumoxid-Keramik für Halbleitervorrichtungen
Der Keramik-Positionierstift von St.Cera wird präzisionsgeschliffen aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃, 99,8 %). Er zeichnet sich durch hohe Härte (16 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und Dimensionsstabilität aus. Die Durchmessertoleranzen sind mit ±0,005 mm sehr eng, die Längen bis zu 150 mm. Die Stiftoberfläche ist für ein reibungsloses Einsetzen und Entfernen auf Ra ≤0,2 μm geläppt. Einsatzgebiete sind Ausrichtungsstifte, Passstifte oder Positionieranschläge in Halbleiter-Prozessvorrichtungen, Waferkassetten und Inspektionsgeräten.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Durchmesserbereich | 1–20 mm |
| Längenbereich | 5–150 mm |
Anwendungsbereiche:
- • Ausrichtungsstifte für Waferkassetten
- • Führungsbuchsen für Hubbolzen
- • Befestigungsstifte
- • Ausrichtungsstifte für Prüfkarten
Vorteile gegenüber Stahl:
- • Nicht magnetisch, korrosionsbeständig
- • Keine Partikelbildung durch Verschleiß
- • Elektrisch isolierend (>10¹⁴ Ω·mm²/m)
Anpassung:
Abgeschrägte Enden, Stufendurchmesser, Gewindebohrungen oder kundenspezifische Spitzenprofile.
