ST.CERA maßgeschneiderter Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxidkeramik
Produktdetails
Aufgrund seiner hohen Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolierung kann Keramik in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiven Gasen über einen langen Zeitraum eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, konnte der keramische Endeffektor eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenbeschaffenheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃ erreichen.
Der keramische Endeffektor mit Hohlraum kann aufgrund der einzigartigen Keramikverbindungstechnologie bei einer hohen Temperatur von 800 °C arbeiten.
Hier sind die Eigenschaften von Aluminiumoxidkeramik mit unterschiedlicher Reinheit.
Produktparameter
ST.CERA CO., LTD.
Materialdatenblatt
| Eigenschaften | Einheit | Aluminiumoxid (Al2O3) | |||
| 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | 99,8 % Al2O3 | 99,9 % Al2O3 | ||
| Farbe | — | Weiß | Elfenbein | Elfenbein | Elfenbein |
| Dichte | g/cm3 | 3,88 | 3,90 | 3,93 | 3,95 |
| Wasseraufnahme | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Körnung | μm | 2~5 | 2~5 | 2~5 | 2~4 |
| Biegefestigkeit | MPa | 350 | 360 | 361 | 350 |
| Bruchzähigkeit | MPa·m1/2 | 3~4 | 3~4 | 3~4 | 3~4 |
| Vickers-Härte | GPa | 14 | 15.5 | 16 | 16 |
| Elastizitätsmodul nach Young | GPa | 370 | 370 | 380 | 390 |
| Wärmeleitfähigkeit | W/m·k | 28 | 32 | 32 | 34 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 10-6/℃ | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 |
| Dielektrizitätskonstante | — | 9.5 | 9.6 | 9.6 | 9.9 |
| Dielektrischer Verlustwinkel | — | 0,0001 | 0,0001 | 0,0001 | 0,0001 |
| Spannungsfestigkeit | V/m | 15×106 | 15×106 | 15×106 | 15×106 |
| Spezifischer Widerstand | Ω ·mm2/m | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 |
Fertigungsprozess
Sprühgranulierung → Keramikpulver → Formen → Rohlingsintern → Grobschleifen → CNC-Bearbeitung → Feinschleifen → Maßkontrolle → Reinigen der Verpackung
Wesentliche Details
Herkunftsort: Hunan, China
Material: Aluminiumoxidkeramik
HS-Code: 85471000
Lieferfähigkeit: 100 Stück pro Monat
Lieferzeit: 3-4 Wochen
Verpackung: Wellpappe, Schaumstoff, Karton
Sonstiges: Anpassungsservice verfügbar
