Endeffektor aus Siliziumkarbid (SiC)-Keramik – Hohe Steifigkeit für die Waferhandhabung bei hohen Temperaturen
Der SiC-Keramik-Endeffektor von St.Cera wird aus hochreinem Siliciumcarbid (SiC-Gehalt 99,72 %, freies Si 0,05 %) aus dem Ausgangsmaterial S1111 gefertigt. Er zeichnet sich durch hervorragende mechanische Eigenschaften aus: Biegefestigkeit 449 MPa (gemessen), Elastizitätsmodul 457 GPa (gemessen) und Vickershärte 25–28 GPa (typisch). Die geringe Dichte (3,10–3,15 g/cm³, typisch) sorgt für eine hohe spezifische Steifigkeit, ideal für Hochgeschwindigkeits-Wafer-Transferroboter. Mit einer Wärmeleitfähigkeit von 120–150 W/m·K (typisch) und einem Wärmeausdehnungskoeffizienten von 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisch) leitet dieser Endeffektor Wärme effektiv ab und gewährleistet Dimensionsstabilität bei der Handhabung hoher Temperaturen (bis zu 1600–1700 °C, unbelastet). Die schwarz/graue Farbe und die fehlende Wasseraufnahme gewährleisten die Reinraumtauglichkeit.
Spezifikationen(basierend auf dem mitgelieferten SiC S1111-Prüfbericht und typischen Werten)):
| Eigentum | Wert |
| Material | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % freies Si) |
| Farbe | Schwarz/Grau |
| Dichte | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Wasseraufnahme | 0% |
| Biegefestigkeit | 449 MPa (durchschnittlich) |
| Bruchzähigkeit | 3,12 MPa·m¹/² (Mittelwert) |
| Elastizitätsmodul | 457 GPa |
| Vickers-Härte | 25–28 GPa |
| Wärmeleitfähigkeit (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maximale Betriebstemperatur (ohne Last) | 1600–1700 °C |
Anwendungsbereiche:
● Hochtemperatur-Waferhandhabung (Nachglühen, RTP, Epitaxie)
● Plasmaätzkammern, die eine hohe Erosionsbeständigkeit erfordern
● Hochgeschwindigkeits-Transferroboter (leicht, hohe Steifigkeit)
Herstellung:
SiC-Pulversintern → Präzisions-CNC-Schleifen des Armprofils und der Montageflächen → Oberflächenläppen → Ultraschallreinigung. 100% Maßprüfung und Helium-Dichtheitsprüfung für Vakuumanwendungen.
Qualitätskontrolle:
● CMM-Prüfung von Länge, Breite und Ebenheit
● Biegefestigkeitsprüfung pro Charge (gemäß Prüfberichtstandard)
● Visuelle Inspektion unter dem Mikroskop auf Oberflächenfehler
Vorteile gegenüber Aluminiumoxid oder Metall:
● 2-fach höherer Elastizitätsmodul (457 GPa gegenüber ~380 GPa bei Aluminiumoxid) – geringere Durchbiegung
● 3-fach höhere Wärmeleitfähigkeit – schnellere Wärmeableitung
● Hält Temperaturen von über 1600 °C stand, im Vergleich zu 800 °C von Aluminiumoxid an Luft
● Geringere Dichte als Stahl – 40 % Gewichtsreduzierung
Anpassung:
Längen 150–450 mm, Spitzenformen (Kantengriff, Bernoulli, flach), Montageflanschmuster gemäß OEM-Zeichnung.
*Alle oben genannten mechanischen Daten stammen aus dem beigefügten Prüfbericht (Charge S1111). Die Werte für Wärmebehandlung und Härte sind typisch für diese SiC-Sorte; bitte kontaktieren Sie uns für eine chargenspezifische Zertifizierung.*
