12-Zoll-Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid für die 300-mm-Waferbearbeitung
Der 12-Zoll-Vakuumspannfutter von St.Cera ist präzisionsgefertigt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃, 99,8 %) und für die Handhabung von 300-mm-Wafern ausgelegt. Die fein gerillte Oberfläche (Rillenbreite 0,5–1,0 mm, Teilung 2–3 mm) gewährleistet eine gleichmäßige Vakuumverteilung über den gesamten Durchmesser von 300 mm. Die Planheit liegt innerhalb von 5 μm, wodurch eine verzugsfreie Waferfixierung beim Vereinzeln, Rückseitenschleifen und der Inspektion ermöglicht wird. Die hohe Biegefestigkeit (361 MPa) und Härte (16 GPa) des Materials garantieren langfristige Dimensionsstabilität auch bei wiederholten Vakuumzyklen.
Spezifikationen (basierend auf 99,8 % Al₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Durchmesser | 300 mm (12 Zoll) |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Ebenheit (über 300 mm) | ≤5 μm |
| Nutbreite | 0,5–1,0 mm |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C |
| Durchschlagsfestigkeit | 15×10⁶ V/m |
Anwendungsbereiche:
300-mm-Wafer-Vereinzelung und -Ritzen
Rückseitenschleifen der Wafer (dünne Wafer-Unterstützung)
Optische Inspektion und Abtastung
Temporäre Klebe-/Lösespannfutter
Herstellung:
CNC-geschliffen und geläppt, bis die endgültige Planheit erreicht ist, mit Diamantschleifscheiben genutet, ultraschallgereinigt und im Reinraum der Klasse 100 verpackt. Jedes Spannfutter wird zu 100 % auf Planheit (Laserinterferometer) und Nutentiefe (Profilometer) geprüft.
Vorteile:
Geringe Partikelerzeugung (≤0,05 Partikel/cm²)
• Chemisch inert gegenüber Lösungsmitteln und Säuren
ESD-sichere Oberfläche (spezifischer Widerstand >10¹³ Ω·cm)
Kundenspezifische Vakuumlochmuster und rückseitige Anschlüsse erhältlich.
