Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor mit integrierten Vakuumkanälen
Der Vakuum-Endeffektor von St.Cera aus Aluminiumoxid integriert präzisionsgefertigte Vakuumkanäle und Saugöffnungen direkt in den hochreinen Aluminiumoxidkörper (99,8 %). Diese Konstruktion macht externe Vakuumpads überflüssig und ermöglicht die direkte Aufnahme von Wafern mit gleichmäßiger Haltekraft. Die hohe Biegefestigkeit (361 MPa) und Härte (16 GPa) des Materials gewährleisten langfristige Dimensionsstabilität auch bei wiederholten Vakuumzyklen. Die Ebenheit der Padfläche liegt innerhalb von 10 μm, wodurch Spannungen und Brüche der Wafer vermieden werden. Die Vakuumanschlüsse befinden sich am hinteren Montageflansch und ermöglichen so die einfache Integration in OEM-Roboterarme.
Spezifikationen(auf Basis von 99,8% Al₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Elastizitätsmodul | 380 GPa |
| Wärmeausdehnung | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Ebenheit des Polsters | ≤10 μm |
| Vakuumkanalbreite | 0,5–2,0 mm |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C |
Anwendungsbereiche:
● Vakuumaufnahme dünner oder verzogener Wafer
● Direkte Waferhandhabung ohne Kantengriff
● Transfer von Solarzellen- und LED-Substraten
Herstellung:
Gesinterter Aluminiumoxidrohling → 5-Achs-CNC-Bohrung von Vakuumkanälen und -bohrungen → Oberflächenläppen → Ultraschallreinigung → Helium-Dichtheitsprüfung. Jeder Effektor wird zu 100 % auf Vakuumgleichmäßigkeit geprüft.
Vorteile:
● Keine externen Staubsauger (reduziert Partikelquellen)
● Gleichmäßiger Anpressdruck verhindert Markierungen an den Wafern
● Chemisch inert und reinraumtauglich
