ESD-sichere Aluminiumoxid-Keramikteile für die Handhabung statisch empfindlicher Wafer

Die ESD-sicheren (elektrostatisch entladungssicheren) Aluminiumoxid-Keramikteile von St.Cera werden aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) mit einem speziell angepassten Oberflächenwiderstand von 10⁶–10⁹ Ω/sq gefertigt. Dieser Wert wird durch ein firmeneigenes Dotierungs- oder Beschichtungsverfahren erzielt. Die Teile leiten statische Ladungen effektiv ab und verhindern so elektrostatische Schäden an empfindlichen Halbleiterwafern und -bauelementen. Das Basismaterial behält seine hohe Biegefestigkeit (361 MPa), Härte (16 GPa) und Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m). Zu den ESD-sicheren Keramikteilen gehören Endeffektoren, Hubstifte, Führungsschienen und kundenspezifische Vorrichtungen für die Automatisierung in der Halbleiterfertigung.

Spezifikationen(auf Basis von 99,8 % Al₂O₃ mit ESD-Behandlung):

Hinweis: Der spezifische Oberflächenwiderstand gegen elektrostatische Entladungen (ESD) ist in den mitgelieferten Materialtabellen nicht angegeben. Der oben genannte Bereich entspricht dem Industriestandard für dissipative Keramiken. Bitte kontaktieren Sie uns für Prüfberichte.

Anwendungsbereiche:

● ESD-sichere Endeffektoren für den Wafertransfer

● Erdungsstifte und ESD-Vorrichtungen in FAB-Anlagen

● Testbuchsen auf statisch empfindliche Geräte

● Reinraumwerkzeuge, bei denen die Kontrolle statischer Aufladung entscheidend ist

Fertigung & Qualität:

Standardmäßige Aluminiumoxidverarbeitung + ESD-Oberflächenbehandlung → Messung des Oberflächenwiderstands gemäß ANSI/ESD STM11.11. Jedes Teil wird zu 100 % mit einer konzentrischen Ringelektrode geprüft.

Vorteile:

● Verhindert ertragsbedingte ESD-bedingte Verluste

● Erhält die mechanische Festigkeit und chemische Beständigkeit der Keramik.

● Keine Partikelerzeugung durch statische Entladung