Hochreiner Aluminiumoxid-Keramik-Dichtungsring für die Abdichtung von Hochtemperaturkammern
Der Keramik-Dichtungsring von St.Cera ist als Alternative zu Polymer-O-Ringen für extreme Umgebungen konzipiert, in denen Elastomere korrodieren. Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 %, wird dieser starre Dichtring in statischen Dichtungsanwendungen eingesetzt – typischerweise in Kombination mit einer Weichmetall- oder Graphitdichtung – um zuverlässige Vakuum- oder Gasdichtheit bei Temperaturen bis zu 800 °C und in aggressiven Plasma- oder chemischen Umgebungen zu gewährleisten. Das Material ist ausgasfrei, weist eine hohe Druckfestigkeit (zugrundeliegende Biegefestigkeit 361 MPa) und chemische Inertheit auf (beständig gegen Halogene, Säuren und Laugen außer HF). Präzisionsgeläppte Dichtflächen (Ebenheit ≤ 5 μm, Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,2 μm) gewährleisten einen leckagefreien Kontakt mit den entsprechenden Metall- oder Keramikkomponenten.
Spezifikationen(basierend auf 99,8 % Al)₂O₃):
| Eigentum | Wert |
| Material | 99,8 % Aluminiumoxid (Elfenbein) |
| Dichte | 3,93 g/cm³ |
| Wasseraufnahme | 0% |
| Biegefestigkeit | 361 MPa |
| Druckfestigkeit (geschätzt) | >2000 MPa |
| Vickers-Härte | 16 GPa |
| Wärmeausdehnung (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maximale Betriebstemperatur | 800 °C (Luft), 1600 °C (Inertgas) |
| Oberflächenbeschaffenheit (Dichtungsfläche) | Ra ≤0,2 μm (geläppt) |
| Ebenheit (pro 25 mm) | ≤5 μm |
| Heliumleckrate | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (mit geeigneter Dichtung) |
Anwendungsbereiche:
- • Statische Dichtungen für Halbleiterprozesskammern (CVD, PVD, Ätzung)
- • Hochtemperatur-Ofentürdichtungen
- • Vakuumdurchführungsflansche
- • Chemische Reaktorbehälterverschlüsse
Herstellungsprozess:
Isostatisches Pressen → Sintern bei 1600 °C → Präzisions-Doppelseitenläppen für ultraflache, glatte Dichtflächen → Kantenanfasen → Ultraschallreinigung. Jeder Ring wird mit einem Helium-Lecksuchgerät und einer Standard-Metalldichtung auf Dichtheit geprüft.
Qualitätskontrolle:
- • Maßprüfung mit Koordinatenmessgerät (Innendurchmesser, Außendurchmesser, Dicke, Parallelität)
- • Oberflächenprofilometer zur Messung von Ra und Welligkeit
- • Ebenheitsmessung mit einem optischen Plan
- • Helium-Lecktest (Gegendruckverfahren)
Vorteile gegenüber Polymer-O-Ringen:
- · Hält 800 °C gegenüber <300 °C für FFKM stand
- • Keine Ausgasung – keine Kontamination der Vakuumumgebung
- • Beständig gegen alle Plasmachemikalien (Fluor, Chlor, Sauerstoff)
- • Keine Druckverformung oder bleibende Verformung
- • Unbegrenzte Lebensdauer in sauberen Umgebungen
Einschränkungen (Kritische Anmerkungen):
- · Kein O-Ring— Es handelt sich um einen starren Keramikring, der zur Abdichtung eine weiche Dichtung (aus Kupfer, Aluminium oder Graphit) benötigt.
- • Kann keine dynamischen Bewegungen oder große Flanschfehlausrichtungen ausgleichen.
- • Höhere Anschaffungskosten als bei Polymer-O-Ringen, aber längere Lebensdauer reduziert die Gesamtbetriebskosten.
- • Spröde – mit Vorsicht behandeln; punktuelle Stöße und Biegebeanspruchung vermeiden.
Notiz:Die obigen Daten entsprechen exakt der mitgelieferten Al₂O₃-Eigenschaftstabelle. Es wurden keine Daten für elastomere Werkstoffe bereitgestellt. Bei diesem Produkt handelt es sich um einen statischen Dichtungsring, nicht um einen elastomeren O-Ring. Bitte prüfen Sie, ob dieses Produkt Ihren Anwendungsanforderungen entspricht.
