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ST.CERA Kundenspezifische Halbleiteranlagen Keramikspannfutter
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
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ST.CERA Kundenspezifische Halbleiteranlagen Keramikplatte
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter Hochtemperatur-, Vakuum- und korrosiven Gasbedingungen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
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ST.CERA Kundenspezifischer Halbleiter-Keramik-Fokusring
Kritische Prozesse in der Halbleiterindustrie erfordern Reinraumbedingungen, insbesondere für Bauelemente, die unter hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen eingesetzt werden sollen. Keramik zeichnet sich durch hohe Stabilität in komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen aus.
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ST.CERA kundenspezifischer Ladearm aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik
Der keramische Endeffektor / Handhabungsarm ist an Wafer-Handhabungsrobotern oder „Endeffektoren“ installiert und dient zum Transport von Siliziumwafern in oder aus Kassetten oder Prozesskammern.
Die Vorteile der Verwendung von Keramik liegen in der Verringerung der Durchbiegung aufgrund hoher Biegefestigkeit, der Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und der Vermeidung von Metallverunreinigungen und -partikeln. -
ST.CERA kundenspezifischer Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
ST.CERA bietet ESD-Beschichtungen und ESD-Keramikmaterialien für Endeffektoren an. Diese werden aus hochreinem Aluminiumoxidpulver hergestellt, durch Kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung verarbeitet und erreichen eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA Kundenspezifischer Fokusring aus Halbleiterkeramik
Die aus hochreiner (über 99,5 %) Aluminiumoxidkeramik hergestellten, durch kaltisostatisches Pressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramikersatzteile werden anschließend präzisionsbearbeitet und poliert. Dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationsfähigkeit erfüllen sie alle strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA kundenspezifische Halbleiter-Präzisions-Aluminiumoxid-Keramikbuchse
Die aus hochreiner (über 99,5 %) Aluminiumoxidkeramik hergestellten, durch kaltisostatisches Pressen geformten und bei hoher Temperatur gesinterten Keramikersatzteile werden anschließend präzisionsbearbeitet und poliert. Dank ihrer Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Wärmeausdehnung und Isolationsfähigkeit erfüllen sie alle strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA kundenspezifischer Vakuum-Endeffektor aus Aluminiumoxid-Keramik
Es handelt sich um einen schalenförmigen Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm, der unter Vakuumbedingungen eingesetzt wird.
Der Keramik-Endeffektor/Handling-Arm ist im Vergleich zu den Metallvarianten „hitzebeständiger“, „weniger verformbar“ und „leichter“.
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA – Kundenspezifische Keramikrohre und Keramikstäbe aus 99,5 % Aluminiumoxid
Dank ihrer Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit kann Keramik über lange Zeiträume in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen unter Bedingungen hoher Temperatur, Vakuum oder korrosiver Gase eingesetzt werden.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
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ST.CERA kundenspezifische Waferhandhabung mit Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
ST.CERA bietet Endeffektoren/Handhabungsarme aus ESD-beschichtetem und ESD-Keramikmaterial mit integriertem Hohlkanal an. Wir sind spezialisiert auf ein Verfahren, das ohne Klebstoff einen Vakuumkanal im Inneren eines einzelnen Materialstücks erzeugt.
Es besteht kein Risiko von Verunreinigungen, Ausgasungen oder Partikeln. Der Vakuum-Endeffektor/Handhabungsarm von ST.CERA mit spezieller Beschichtungstechnologie ist elektrisch isoliert. Wir bieten auch ESD-Keramikmaterial an, das elektrisch isoliert und unbeschichtet ist.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃. -
Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Halbleiteranlagenkomponenten
Vermeiden Sie die Bildung von Partikeln an den abgeschrägten oder schrägen Kanten und der Rückseite der Wafer während des Transports oder beim Kontakt mit dem Endeffektor / Handhabungsarm.
Für die Führungen wurde ein weiches Material verwendet, das den Wafer nicht beschädigt.
Durch die in ST.CERA integrierte Vakuumkanaltechnologie, die ohne Klebstoffe auskommt, ist eine Ausdünnung möglich.
Es ist möglich, Befestigungslöcher anzubringen und die Länge und Breite der Basis zu verändern, an der der Endeffektor / Handhabungsarm am Roboter befestigt ist.
Montage von Sensoren, Schrauben und Halterungen ist optional erhältlich.
Konzipiert für den Einsatz in der Atmosphäre.
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Kundenspezifische CNC-Bearbeitung des St.Cera Keramik-Endeffektors
ST.CERA bietet einen Vakuum-Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm mit integriertem Hohlkanal an. Wir sind spezialisiert auf ein Verfahren, das einen Vakuumluftkanal innerhalb eines einzigen Materialstücks ohne Klebstoff erzeugt.
Es besteht kein Risiko von Verunreinigungen, Ausgasungen oder Partikeln. Der Vakuum-Endeffektor/Handhabungsarm von ST.CERA mit integriertem Kanal ist robust und hochtemperaturbeständig. Zudem können wir durch den Wegfall unnötiger Montagearbeiten unsere Fertigungskosten senken.
Hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxidpulver, verarbeitet durch kaltisostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, erreicht es eine Maßtoleranz von ±0,001 mm, eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1 und eine Temperaturbeständigkeit von 1600℃.
